IS-PM 系列貴金屬薄膜專用鍍膜設(shè)備采用雙腔室結(jié)構(gòu)設(shè)計，工 藝腔+裝/卸載腔，是工藝可靠性與制程效率的完美融合。設(shè)備配備一 套高能離子束清洗源（Ionbeam Cleaning Source），多套磁控濺射 源（Magnetron Sputtering Source），配合可靠的伺服電磁推進(jìn)系 統(tǒng)，設(shè)備模塊化程度高、穩(wěn)定性好、操作簡單且維護(hù)方便。